METHOD FOR PROVIDING SEQUENTIAL POWER PULSES

Brazil Patent

PATENT NO 112014010115
APP PUB NO BR-112014010115-A2
SERIAL NO

112014010115

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Abstract

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método para prover pulsos de potencial sequenciados. a presente invenção se refere a um método para prover pulsos de potencial para cátodos de atomização pvd, abrangendo um componente formador de potencial e um cátodo parcial, sendo que durante um intervalo de formação de potencial de um gerador, será eliminado o potencial no componente recolhedor de potencial e, em seguida, o potencial no catódo parcial será eliminado, sendo que a comutação é feita de tal forma que a retirada de potencial do gerador, provedor do potencial, não precisa ser interrompida.

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First Claim

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  • No Inventor to display

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