Operating method and driving means of a piezolinear drive

Germany Patent

APP PUB NO DE-102009017637-A1
SERIAL NO

102009017637

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Abstract

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Betriebsverfahren eines Piezolinearantriebes mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren, welche einen Läufer antreiben, bei dem die Aktoren eine auf einem gemeinsamen Substrat befindliche Mehrschichtkeramikanordnung darstellen, wobei innerhalb eines Stapels der Mehrschichtanordnung ein erstes Stapelteil als Longitudinalaktor und ein zweites Stapelteil als Scheraktor ausgebildet ist und letzteres mindestens indirekt in Klemm- und Scherkontakt mit dem Läufer steht und mindestens zwei identische Aktoren sich nebeneinander befinden, um im Schrittbetrieb wechselseitig Klemm- und Vorschubbewegungen auszuführen, zum Betrieb im Schrittmodus zur Grobpositionierung, wobei die benachbarten Aktoren der Gruppe zu abwechselnden Klemm- und Vorschubbewegungen angesteuert werden, wobei Ansteuersignale aus einer geschwindigkeits-proportionalen Steuergröße abgeleitet werden.

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Patent Owner(s)

Patent OwnerAddress
PHYSIK INSTR PI GMBH & CO KGDEKARLSRUHE

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Inventor(s)

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MOCK CHRISTOPHER 76337 WALDBRONN

Cited Art Landscape

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