NON-CONTACT SURFACE-SHAPE MEASURMENT METHOD AND APPARATUS USING WHITE LIGHT INTERFEROMETER OPTICAL HEAD

Germany Patent

APP PUB NO DE-102015222118-A1
SERIAL NO

102015222118

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Abstract

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Ein berührungsloses Oberflächenformmessverfahren verwendet einen Weißlichtinterferometer-Optikkopf, der Licht, das von einer Weißlichtquelle emittiert wird, durch einen Strahlteiler in Referenzlicht für einen Referenzspiegel und Messlicht für eine Messobjektoberfläche aufteilt; ein Bild mit Interferenzstreifen, die von einem Unterschied in Bezug auf den optischen Weg von Licht, das von dem Referenzspiegel reflektiert wird, und Licht, das von der Messobjektoberfläche reflektiert wird, erlangt und zum Abtasten in einer vertikalen Richtung bezüglich der Messobjektoberfläche verschoben wird, um das Bild mit Interferenzstreifen zu erlangen. Während der Weißlichtinterferometer-Optikkopf in einer Abtastrichtung verschoben wird, wird eine Position des Optikkopfs in der Abtastrichtung erkannt und das Bild mit Interferenzstreifen wird in vorherbestimmten räumlichen Intervallen in der Abtastrichtung erlangt.

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First Claim

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Family

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Patent Owner(s)

Patent OwnerAddress
MITUTOYO CORPJPKANAGAWA JAPAN

International Classification(s)

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Inventor(s)

Inventor Name Address
WATANABE YUTAKA 〒1056409 東京都港区虎ノ門一丁目１７番１号 株式会社日立ハイテク内 TOKYO ?1056409
SAEKI TAKESHI TOKYO
MAEDA TAKUHO NONOICHI

Cited Art Landscape

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