FILM-FORMING METHOD

Germany Patent

APP PUB NO DE-102016222666-A1
SERIAL NO

102016222666

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Abstract

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Ausgangsgase werden sofort bzw. instantan erhitzt, wenigsten zwei Arten von erzeugten Gasmolekülarten, die durch augenblickliches Erhitzen der Ausgangsgase erzeugt worden sind, werden unabhängig zugeführt und in Kontakt mit einem Substrat gebracht, das eine niedrigere Temperatur als die Heiz-Temperatur der Einrichtung zum augenblicklichen bzw. instantanen Erhitzen der Ausgangsgase aufweist, um so eine erste und eine zweite Verbundschicht zu bilden, wobei die zweite Verbundschicht mindestens ein Element der in der ersten Verbundschicht enthaltenen Elemente enthält, wobei eine Mehrschichtfolie bzw. ein mehrschichtiger Film, die bzw. der sich aus mindestens der ersten Verbundschicht und der zweiten Verbundschicht zusammensetzt, hergestellt wird.

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First Claim

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Family

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Patent Owner(s)

Patent OwnerAddress
PHILTECH INCJP5F YUSHIMA OHTA BLDG 2-29-3 YUSHIMA BUNKYO-KU TOKYO 113-0034

International Classification(s)

Inventor(s)

Inventor Name Address
SHIMIZU NORIYOSHI NAGANO
FURUMURA YUJI KAWASAKI-SHI KANAGAWA 214
NISHIHARA SHINJI TOKYO 100-8331
HAIKATA ERI TOKYO

Cited Art Landscape

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